固態(tài)的微波源使用強制氣冷的冷卻系統(tǒng)，功率覆蓋100W-1000W，常見的為915MHZ的微波源和2.45Ghz微波源。使用的高頻晶體管和固態(tài)微波技術，固態(tài)微波源擁有卓越的性能。固態(tài)微波源智能微波系統(tǒng)與動態(tài)頻率調整功能相結合，使900 -930 MHz (2400 to 2480 MHz)范圍內的反向功率比最小化。與其它系統(tǒng)不同的是，固態(tài)微波源是根據客戶的需要來控制輸出平率，設定值為1MHZ分辨率。