設(shè)備特點：
       1上下料一體化設(shè)計節(jié)約了工人搬運石英舟及塑料硅片承載盒的勞動強度，籃具在上下料的過程中緊湊相連，循環(huán)利用，提高整機的工作效率。所有入籃及入石英舟結(jié)構(gòu)均采用耐磨耐高溫自潤滑結(jié)構(gòu)穩(wěn)定之材料導(dǎo)向。高精密叉子托附，依靠硅片自 身重力入籃或入舟。大大降低了碎片率以及對載具的高精度要求
      2機器重要環(huán)節(jié)采用激光傳感器精 確定為，一旦運轉(zhuǎn)偏離位置，機器自動補償矯正。既提高了穩(wěn)定性，又提升了速度
      3真空吸盤采用精密耐高溫陶瓷結(jié)構(gòu)，不變形、無污染、嬌片叉子采用高精度復(fù)合材料。