平面度測量儀激光干涉測量DANTSIN-LAMTECH平面度測量機(jī)，采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、閥門密封件表面(Sealing surfaces)，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。?產(chǎn)品特點(diǎn)：◆?非接觸式平面度測量接觸◆?高精密評估: ＜0.4μm◆?測量速度快: ＜3秒◆?可用于車間現(xiàn)場, 100%全檢◆?平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)◆?三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測◆?表面自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng), 或手動(dòng)指定區(qū)域(圓, 圓環(huán), 矩形區(qū)域)評估◆?數(shù)據(jù)采集量大, 一次完成對300,000點(diǎn)的評估◆?快速生成報(bào)告并保存為.csv數(shù)據(jù)格式, 支持Q-das等統(tǒng)計(jì)分析軟件◆?廣泛應(yīng)用于拋光, 研磨或細(xì)磨精密表面, 像閥門盤, 密封環(huán)等平面度測量儀激光干涉測量