性能特點(diǎn) · 特殊合金架構(gòu)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，為掃描應(yīng)用提供的剛性 · 90mmx90mm超大橫截面的Z軸具有最強(qiáng)剛性 · 極高的熱傳導(dǎo)率可以快速響應(yīng)環(huán)境溫度的變化 · 橫梁采用有限元分析設(shè)計(jì)，擠壓成型，其轉(zhuǎn)動(dòng)慣量可以在機(jī)器高速運(yùn)行時(shí)減少變形 · 帶燕尾槽導(dǎo)軌的整體式花崗巖工作臺(tái)提高了測(cè)量機(jī)運(yùn)行的重復(fù)性和精度 · 網(wǎng)格狀分布的M8螺紋孔 · 全氣浮軸承結(jié)構(gòu)，提供了更好的剛性 · Z軸采用氣缸式平衡機(jī)構(gòu) · 0.1微米分辨率的光柵尺和編碼器，它是集成的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理系統(tǒng) · 全數(shù)字化運(yùn)動(dòng)控制，將測(cè)頭運(yùn)動(dòng)路徑也納入控制范圍以優(yōu)化測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)性能 · 各軸均采用零滯后摩擦轉(zhuǎn)動(dòng) · 被動(dòng)減震系統(tǒng)，隔絕環(huán)境振動(dòng) · 開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，可從各個(gè)方向裝載工件 · 定位速度866mm/s · 加速度1500mm/s2

技術(shù)參數(shù)：
X軸：700/1000[mm] Y軸：650[mm] Z軸：500[mm] 測(cè)量精度 ISO MPEE=3,0+3,5 L/1000[μm] 三維速度 517[mm/s]